UHP ଗ୍ୟାସ୍ ବିତରଣ ବ୍ୟବସ୍ଥା ଏତେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କାହିଁକି?
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନରେ - ଏଚିଂ, CVD, ଆୟନ୍ ଇମ୍ପ୍ଲାଣ୍ଟେସନ୍ ଏବଂ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଭଳି ପ୍ରକ୍ରିୟା - ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ଅତ୍ୟଧିକ ଉଚ୍ଚ ବିଶୁଦ୍ଧତା ହେବା ଆବଶ୍ୟକ, ସାଧାରଣତଃ 99.9999% (6N) କିମ୍ବା ଏପରିକି 99.99999% (7N)। ppb (ପ୍ରତି ବିଲିୟନ ଅଂଶ) କିମ୍ବା ppt (ପ୍ରତି ଟ୍ରିଲିୟନ ଅଂଶ) ସ୍ତରରେ ପ୍ରଦୂଷକଗୁଡ଼ିକୁ ଚିହ୍ନଟ କରିବା - ଯେପରିକି ଆର୍ଦ୍ରତା କିମ୍ବା ଅମ୍ଳଜାନ - ଗେଟ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ପତଳା ହେବା, ଧାତୁ ଶୂନ୍ୟତା କିମ୍ବା ୱେଫର୍ସରେ ସର୍ଟ ସର୍କିଟ୍ ଭଳି ମାରାତ୍ମକ ତ୍ରୁଟି ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ, ସମ୍ଭାବ୍ୟ ଭାବରେ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଲଟ୍ ସ୍କ୍ରାପ୍ କରିପାରେ।
ତେଣୁ ଏକ UHP ଗ୍ୟାସ୍ ବିତରଣ ପ୍ରଣାଳୀର ଲକ୍ଷ୍ୟ ହେଉଛି ଶୁଦ୍ଧତାରେ କୌଣସି ହ୍ରାସ ବିନା ଉତ୍ସରୁ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପକରଣକୁ ଗ୍ୟାସ୍ ପରିବହନ କରିବା, ପ୍ରତ୍ୟେକ ସ୍ଥାନରେ ପ୍ରଦୂଷଣ ଏବଂ ଲିକେଜ୍ ଉଭୟକୁ ରୋକିବା।
EP ଟ୍ୟୁବିଂ କାହିଁକି UHP ସିଷ୍ଟମର ମେରୁଦଣ୍ଡ ହୁଏ?
EP (ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋପଲିସ୍ଡ) ଟ୍ୟୁବିଂ ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍ ରୁ ତିଆରି ଯାହା ଏକ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋକେମିକାଲ୍ ପଲିସିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଦେଇଥାଏ, ଯାହା ଏକ ଦର୍ପଣ ପରି ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରଦାନ କରେ। ଏହା ଏହାକୁ UHP ଗ୍ୟାସ୍ ବଣ୍ଟନ ପାଇଁ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ "ଧମନୀ" କରିଥାଏ।
ଚୂଡ଼ାନ୍ତ ପରିଷ୍କାରତା - ଉତ୍ସରୁ ନିବାରଣ
EP ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା (Ra)କୁ 0.13 µm – 0.25 µm କିମ୍ବା ତା’ଠାରୁ କମ୍ ହ୍ରାସ କରେ। ଏହି ଅତ୍ୟଧିକ ମସୃଣ ଫିନିଶ୍ ଅଣୁବୀକ୍ଷଣିକ ଫାଟ ଏବଂ ଶୋଷଣ ସ୍ଥାନଗୁଡ଼ିକୁ ଦୂର କରେ, କଣିକା, ଧାତୁ ଆୟନ କିମ୍ବା ଆର୍ଦ୍ରତା ଲାଗି ରହିବା ପାଇଁ କୌଣସି ସ୍ଥାନ ଛାଡି ନଥାଏ।
ଉନ୍ନତ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ - ପବିତ୍ରତା ସଂରକ୍ଷଣ
ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋପଲିସିଂ ପଦକ୍ଷେପ ପୃଷ୍ଠର ଅଶୁଦ୍ଧତାକୁ ଦୂର କରେ ଏବଂ ଏକ କ୍ରୋମ-ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସମୃଦ୍ଧ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ସ୍ତର ଗଠନ କରେ, ଯାହା Cl₂, CF₄, ଏବଂ HCl ପରି କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ। ଏହା ପାଇପ୍ କାନ୍ଥ କ୍ଷୟକୁ ରୋକିଥାଏ ଯାହା କଣିକା କିମ୍ବା ଗ୍ୟାସ ପ୍ରଦୂଷଣ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ।
ଉନ୍ନତ ପ୍ରବାହ ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଦ୍ରୁତ ପର୍ଜନ
ମସୃଣ ଭିତର କାନ୍ଥ ପ୍ରବାହ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ହ୍ରାସ କରେ ଏବଂ ସିଷ୍ଟମ ପ୍ୟୁଜିଂ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରତିସ୍ଥାପନକୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ କରେ। ଦ୍ରୁତ ଗ୍ୟାସ ସୁଇଚିଂ ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକରେ, ଏହା ଚକ୍ର ସମୟକୁ କମ କରିଥାଏ ଏବଂ ଫ୍ୟାବ୍ ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ବୃଦ୍ଧି କରିଥାଏ।
ପ୍ରିମିୟମ୍ ସାମଗ୍ରୀ - "କ୍ରାଉନ୍" ମାନକ
ଉଚ୍ଚମାନର EP ଟ୍ୟୁବିଂ 316L VIM-VAR (ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଇଣ୍ଡକ୍ସନ୍ ମେଲ୍ଟିଂ + ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆର୍କ୍ ରିମେଲ୍ଟିଂ) ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍ ରୁ ନିର୍ମିତ। ଏହି ଡବଲ୍-ମେଲ୍ଟ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମୂଳ ଧାତୁର ଅତ୍ୟନ୍ତ ବଲ୍କ ଶୁଦ୍ଧତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଯାହା EP ର ଚୂଡ଼ାନ୍ତ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ମୌଳିକ ପୂର୍ବାବଶ୍ୟକତା।
ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରୟୋଗ ପରିସ୍ଥିତି
•
ମୂଳ ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ– ଏଚିଂ, ସିଭିଡି, ଆୟନ ଇମ୍ପ୍ଲାଣ୍ଟେସନ୍ ଏବଂ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକର ବିତରଣ।
•
ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍– SiH₄, PH₃, Cl₂, ଏବଂ BCl₃ ପରି ଜ୍ୱଳନଶୀଳ, ବିଷାକ୍ତ କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକର ସୁରକ୍ଷିତ ପରିଚାଳନା। ଅତ୍ୟନ୍ତ ବିପଜ୍ଜନକ ଗ୍ୟାସ ପାଇଁ, ଡବଲ୍-କଣ୍ଟେନମେଣ୍ଟ EP ଟ୍ୟୁବିଂ ପ୍ରାୟତଃ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ (ଗ୍ୟାସ୍ ପାଇଁ ଭିତର ଟ୍ୟୁବ୍, ଲିକ୍ ମନିଟରିଂ ପାଇଁ ବାହ୍ୟ ଜ୍ୟାକେଟ୍ ଖାଲି କରାଯାଏ କିମ୍ବା ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ସହିତ ସଫା କରାଯାଏ)।
•
ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ହାର୍ଡୱେର୍– ଗ୍ୟାସ୍ ବଣ୍ଟନ ପ୍ୟାନେଲ୍ (VMB), ଗ୍ୟାସ୍ କ୍ୟାବିନେଟ୍ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପକରଣ ହୁକ୍-ଅପ୍ଗୁଡ଼ିକରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଯେଉଁଠାରେ ଅତ୍ୟଧିକ ସଫା ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ପୃଷ୍ଠ ବାଧ୍ୟତାମୂଳକ।
ଟ୍ୟୁବିଂ ବ୍ୟତୀତ: ଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ UHP ସିଷ୍ଟମ ପାଇଁ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଜିନିଷ
ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଅଖଣ୍ଡତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ, ସିଷ୍ଟମରେ ଏହା ମଧ୍ୟ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ:
•
ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ କକ୍ଷପଥ ୱେଲ୍ଡିଂ– ISO ଶ୍ରେଣୀ 5 (ଶ୍ରେଣୀ 100) କିମ୍ବା ଉନ୍ନତ ସଫା ରୁମରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରାଯାଏ, ମାନୁଆଲ୍ ୱେଲ୍ଡିଂ ବିଭେଦ ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣ ବିପଦକୁ ଦୂର କରେ।
•
ସମସ୍ତ ଧାତୁ ମୁହଁ ସିଲ୍ ଫିଟିଂସ୍– ଯେପରିକି VCR® କିମ୍ବା W‑ସିଲ୍ ପ୍ରକାର, ଯାହା ଶୂନ୍ୟ-ଲିକ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପାଇଁ ଧାତୁ ଗାସ୍କେଟ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ।
•
କଠୋର ସଫାସୁତୁରା ଏବଂ ପ୍ୟାକେଜିଂ– EP ଟ୍ୟୁବ୍ଗୁଡ଼ିକୁ ସାଧାରଣତଃ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ପାଣିରେ ସଫା କରାଯାଏ, ଶୁଖାଯାଏ, ଏବଂ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ସହିତ ପରିଷ୍କାର କରାଯାଏ ଏବଂ କ୍ଲିନ୍ରୁମ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂରେ ଡବଲ୍-ବ୍ୟାଗ୍ କରାଯାଏ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ସଂସ୍ଥାପନ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସେମାନଙ୍କର "ପରି ପଠାଯାଇଥିବା ପରି" ଶୁଦ୍ଧତା ସଂରକ୍ଷିତ ରଖାଯାଏ।
EP ଟ୍ୟୁବିଂ କେବଳ ଏକ ପାଇପ୍ ନୁହେଁ - ଏହା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଗ୍ୟାସ୍ ବିତରଣରେ ପ୍ରଥମ ପ୍ରତିରକ୍ଷା ଧାଡି। ଏହାର ଅତ୍ୟଧିକ ମସୃଣ ପୃଷ୍ଠ, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କ୍ଷୋଭ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ପ୍ରିମିୟମ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଶୁଦ୍ଧତା ସିଧାସଳଖ ୱାଫର ଉପଜ, ଡିଭାଇସ୍ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ଏବଂ ସାମଗ୍ରିକ ଫ୍ୟାବ୍ ଲାଭଦାୟକତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ଉପ-5nm ନୋଡ୍ ଏବଂ ସର୍ବଦା କଠୋର ତ୍ରୁଟି ବଜେଟ୍ ଜଗତରେ, EP ଟ୍ୟୁବିଂ ଇଚ୍ଛାଧୀନ ନୁହେଁ - ଏହା ମୂଳଦୁଆ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଅଗଷ୍ଟ-୦୫-୨୦୨୬